[삼성전자, 1.4nm 첨단 공정 R&D 가속, 어플라이드 머티어리얼즈·램리서치와 협력 강화, 소식통]

게시됨: Jun 30, 2026 11:35

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한국 매체 더벨은 현지 시간 26일， 삼성전자가 1.4nm（SF1.4） 공정 시기에 대한 연구개발 작업을 다시 가속화하고 있다고 보도했다。 이 첨단 노드는 당초 2027년 양산에 돌입할 예정이었으나 파운드리 사업의 중심 조정으로 인해 양산 일정이 2029년으로 연기되었다。 보도에 따르면 삼성전자는 최근 어플라이드 머티어리얼즈（Applied Materials）, 램 리서치（Lam Research） 등 주요 반도체 장비 기업들과 SF1.4 공정 방안을 공유했으며， 상·하류 협력을 통해 해당 시기에 가장 적합한 장비 포트폴리오를 신속히 구축하는 것을 목표로 하고 있다。 여기에는 표준 장비의 맞춤형 버전도 포함된다。 삼성전자는 이미 ASML의 High NA EUV 리소그래피 패터닝 장비를 도입하여 NRD-K 반도체 연구개발 단지에 배치했다。 삼성전자로서 이 High NA EUV 리소그래피 장비는 가장 빠르면 SF1.4 공정 시기에 생산에 사용될 것으로 예상된다。

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