[ASML и TNO сотрудничают для продвижения массового производства фотонных чипов]
ASML (ASML.O) и Нидерландская организация прикладных научных исследований (TNO) объявили о сотрудничестве с целью совместной разработки и продвижения индустриализации фотонных чипов. Сотрудничество будет сосредоточено на пилотной производственной линии фотонных чипов TNO, строящейся в кампусе высоких технологий в Эйндховене, Нидерланды. ASML будет поэтапно оказывать поддержку в области производственных технологий, включая оборудование для литографии в глубоком ультрафиолете (DUV) и I-Line. После ввода объекта в эксплуатацию он сможет осуществлять массовое производство фотонных чипов из фосфида индия (InP) на пластинах диаметром 6 дюймов.