[Proótipo de fonte de luz EUV da China atinge 90% de localização; produção em massa ainda está a 3–5 anos de distância]
A 26ª Feira Internacional da Indústria da China está sendo realizada no Centro Nacional de Exposições e Convenções, onde mais de uma centena de conquistas científicas e tecnológicas de Xangai estão expostas no Pavilhão de Tecnologia de Inovação. No estande da Landau Suiyan, um protótipo de sistema de fonte de luz EUV faz sua estreia na feira. Atualmente, é o protótipo de fonte de luz EUV desenvolvido domesticamente mais avançado em exibição pública, sendo também conhecido como o "coração" das máquinas de litografia de alta precisão. As fontes de luz EUV são uma das três partes essenciais para a fabricação de chips de processo avançado de 7 nm e abaixo. Por muito tempo, estiveram sujeitas a monopólios tecnológicos e embargos fora da China, tornando-se um elo fundamental que restringe a capacidade da China de controlar de forma independente chips de alta qualidade. A equipe no local informou que o sistema de fonte de luz exibido alcançou 90% de nacionalização, com a grande maioria das peças essenciais desenvolvidas de forma independente por meio de P&D. Sua rota técnica é consistente com a dos principais produtores internacionais e pode ser usada para testes de exposição de chips. Embora a produção em massa ainda esteja a 3–5 anos de distância, esse avanço marca um passo fundamental para levar a fonte de luz EUV da China do laboratório rumo à industrialização.