[Samsung e ASML colaboram para desenvolver máscara de litografia EUV de próxima geração]
Segundo o Seoul Economic Daily, a Samsung Electronics desenvolverá em conjunto a tecnologia de litografia ultravioleta extrema (EUV) de alta abertura numérica (High-NA) com a ASML, a maior fabricante mundial de equipamentos de litografia. A Samsung está participando de um esforço para impulsionar uma mudança nos padrões da indústria, passando das fotomáscaras de 6 polegadas, em uso desde a década de 1980, para versões de 12 polegadas, e se esforça para ser a primeira a estabelecer um sistema de produção em massa de DRAM baseado em equipamentos EUV de alta abertura numérica. A Samsung planeja aplicar equipamentos EUV de alta abertura numérica à produção de DRAM a partir de 2028 e, posteriormente, estenderá a tecnologia ao seu processo lógico avançado de 1,4 nanômetros para impulsionar o desenvolvimento de seu negócio de fundição. Ampliar o tamanho da máscara visa compensar as limitações da tecnologia EUV. A EUV de alta abertura numérica tem uma abertura numérica 66% maior que a EUV convencional, permitindo a formação de padrões de circuito mais finos. Substituir as máscaras de 6 polegadas atualmente usadas por máscaras de 12 polegadas pode melhorar a produtividade da fábrica e reduzir os custos de fabricação de chips.