[ASML과 TNO, 광자 칩의 대량 생산 진전을 위해 협력]

게시됨: Jun 24, 2026 13:52

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ASML (ASML.O)과 네덜란드 응용과학연구기구(TNO)는 광칩(photonic chips) 산업화를 공동 개발·촉진하기 위한 협력을 발표했다. 이번 협력은 네덜란드 에인트호번 하이테크 캠퍼스에서 건설 중인 TNO의 광칩 시범 생산 라인에 초점을 맞춘다. ASML은 DUV 및 I-Line 리소그래피 장비 등 제조 기술을 단계적으로 지원할 예정이다. 프로젝트가 가동되면 이 시설은 6인치 웨이퍼 규모로 인화인듐(InP) 광칩을 대량 생산할 수 있는 역량을 갖추게 된다.

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