[Samsung và ASML hợp tác phát triển mặt nạ quang khắc EUV thế hệ tiếp theo]
Theo Seoul Economic Daily, Samsung Electronics sẽ cùng ASML, nhà sản xuất thiết bị quang khắc lớn nhất thế giới, phát triển công nghệ quang khắc cực tím khắc nghiệt khẩu độ số cao (High-NA EUV). Samsung đang tham gia nỗ lực thúc đẩy thay đổi tiêu chuẩn ngành, chuyển từ mặt nạ quang 6 inch vốn được sử dụng từ những năm 1980 sang phiên bản 12 inch, đồng thời nỗ lực trở thành đơn vị đầu tiên thiết lập hệ thống sản xuất hàng loạt DRAM dựa trên thiết bị High-NA EUV. Samsung dự kiến áp dụng thiết bị High-NA EUV vào sản xuất DRAM từ năm 2028, sau đó mở rộng công nghệ này sang tiến trình logic tiên tiến 1,4 nanomet để thúc đẩy phát triển mảng kinh doanh gia công chip. Việc tăng kích thước mặt nạ nhằm bù đắp những hạn chế của công nghệ EUV. High-NA EUV có khẩu độ số cao hơn 66% so với EUV thông thường, cho phép tạo ra các mẫu mạch mịn hơn. Thay mặt nạ 6 inch hiện tại bằng mặt nạ 12 inch có thể nâng cao năng suất nhà máy và giảm chi phí sản xuất chip.