ASML và TNO Hợp tác Thúc đẩy Sản xuất Hàng loạt Chip Quang tử
ASML (ASML.O) và Tổ chức Nghiên cứu Khoa học Ứng dụng Hà Lan (TNO) đã công bố hợp tác nhằm cùng phát triển và thúc đẩy công nghiệp hóa chip quang tử. Sự hợp tác sẽ tập trung vào dây chuyền sản xuất thử nghiệm chip quang tử của TNO đang được xây dựng tại Khu công nghệ cao (High Tech Campus) ở Eindhoven, Hà Lan. ASML sẽ cung cấp hỗ trợ công nghệ sản xuất theo từng giai đoạn, bao gồm thiết bị quang khắc DUV và I-Line. Khi dự án đi vào hoạt động, cơ sở này sẽ có năng lực sản xuất hàng loạt chip quang tử phốt pho indi (InP) trên quy mô tấm wafer 6 inch.