[ASML๊ณผ TNO, ๊ด์ ์นฉ์ ๋๋ ์์ฐ ์ง์ ์ ์ํด ํ๋ ฅ]
ASML (ASML.O)๊ณผ ๋ค๋๋๋ ์์ฉ๊ณผํ์ฐ๊ตฌ๊ธฐ๊ตฌ(TNO)๋ ๊ด์นฉ(photonic chips) ์ฐ์
ํ๋ฅผ ๊ณต๋ ๊ฐ๋ฐยท์ด์งํ๊ธฐ ์ํ ํ๋ ฅ์ ๋ฐํํ๋ค. ์ด๋ฒ ํ๋ ฅ์ ๋ค๋๋๋ ์์ธํธํธ๋ฒ ํ์ดํ
ํฌ ์บ ํผ์ค์์ ๊ฑด์ค ์ค์ธ TNO์ ๊ด์นฉ ์๋ฒ ์์ฐ ๋ผ์ธ์ ์ด์ ์ ๋ง์ถ๋ค. ASML์ DUV ๋ฐ I-Line ๋ฆฌ์๊ทธ๋ํผ ์ฅ๋น ๋ฑ ์ ์กฐ ๊ธฐ์ ์ ๋จ๊ณ์ ์ผ๋ก ์ง์ํ ์์ ์ด๋ค. ํ๋ก์ ํธ๊ฐ ๊ฐ๋๋๋ฉด ์ด ์์ค์ 6์ธ์น ์จ์ดํผ ๊ท๋ชจ๋ก ์ธํ์ธ๋(InP) ๊ด์นฉ์ ๋๋ ์์ฐํ ์ ์๋ ์ญ๋์ ๊ฐ์ถ๊ฒ ๋๋ค.