[Samsung y ASML colaboran para desarrollar la máscara de litografía EUV de próxima generación]
Según el Seoul Economic Daily, Samsung Electronics desarrollará conjuntamente la tecnología de litografía ultravioleta extrema (EUV) de alta apertura numérica con ASML, el mayor fabricante mundial de equipos de litografía. Samsung participa en un esfuerzo por impulsar un cambio en los estándares de la industria, pasando de las fotomáscaras de 6 pulgadas utilizadas desde los años ochenta a versiones de 12 pulgadas, y se esfuerza por ser el primero en establecer un sistema de producción en masa de DRAM basado en equipos EUV de alta apertura numérica. Samsung planea aplicar equipos EUV de alta apertura numérica a la producción de DRAM a partir de 2028, y posteriormente extenderá la tecnología a su proceso lógico avanzado de 1,4 nanómetros para impulsar el desarrollo de su negocio de fundición. El aumento del tamaño de la máscara tiene como objetivo compensar las limitaciones de la tecnología EUV. La EUV de alta apertura numérica tiene una apertura numérica un 66 % mayor que la EUV convencional, lo que permite formar patrones de circuitos más finos. Sustituir las máscaras de 6 pulgadas actualmente utilizadas por máscaras de 12 pulgadas puede mejorar la productividad de la fábrica y reducir los costes de fabricación de chips.